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晶圓切割為什么要選擇10萬轉的氣浮主軸

日期:2025-08-31 04:20
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 晶圓切割需超高精度與穩定性,10萬轉氣浮主軸憑借無接觸懸浮技術(空氣軸承支撐),實現1μm跳動精度,避免機械磨損,確保切割邊緣無崩裂。高速旋轉下,氣膜自潤滑降低熱變形,內置渦流冷卻系統有效散熱,延長主軸壽命。其剛性結構適配超薄刀片,提升切割效率與晶圓良率,是半導體行業高精度加工的核心部件。

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